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　　原标题：之江实验室园区新进展！微纳加工平台即将交付使用

　　作为浙江省实施创新驱动发展战略的重大科技创新平台，之江实验室的一举一动都备受关注。3月4日，之江实验室微纳加工平台3#装修工程项目竣工验收。

　　之江实验室3#楼（微纳加工平台）工程，是之江实验室目前投入蕞大的科研平台建设项目之一，总建筑面积7150平方米，其中百、千、万级洁净面积共2700平方米。平台建有一条以硅基工艺为基础、以异质集成为特色的6英寸微纳加工工艺线，包含清洗、光刻、刻蚀、薄膜淀积、离子注入、封装和测试等各类工艺设备100余台，能够为实验室和合作单位在高端光电子芯片、先进CMOS器件、智能MEMS 传感器及相关模块的研发中提供设计、加工、封装和测试服务。

　　面对特殊实验室的复杂性、专业性，承建方中建八局项目管理团队全力以赴、攻坚克难，发扬铁军精神，稳步推进项目建设。微纳加工平台的建设使用，支撑实验室科研攻关，助力打造国家和浙江省战略科技力量。（文：廖倩倩）返回搜狐，查看更多

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